该专利摘要中详细描述了该真空镀膜装置的结构与工作流程。这一真空镀膜装置主要包括：一个真空室，用于创造一个无氧环境；一个传送机构，被设置在真空室内，用以传输基膜；一个镀膜机构，同样位于真空室内，负责在基膜表面镀上预定的膜层。还包括一个冷却机构和一个钝化机构。冷却机构设在真空室内且位于镀膜机构的上方，可以迅速冷却刚刚完成镀膜的基膜，防止因高温引起的基膜材料性质变化或热变形。钝化机构则设在基膜传送方向的下游，负责钝化预定膜层。通过这种结构设计，不仅大大提高了柔性薄膜电池电极材料的制备效率和质量，同时也降低了生产成本。
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