无尘室的等级分类多样，根据实际的需求，我们可以进行相应的设计与施工。清阳净化对万级无尘室的结构组成进行了深入解析。
万级无尘室的隔间主要由室、千级区和百级区构成。室与千级区、千级区与百级区之间都设有风淋室，确保人员进入无尘室时，通过吹风清理所携带的尘埃。芯片净化车间与室外设有物品传递箱，对进入的物品进行除尘处理。除此之外，无尘室还包括风系统、水系统、控制系统以及其他辅助系统。
关于万级芯片洁净车间
1. 风系统
该系统的核心是全新风空调箱与FFU的组合。全新风空调箱结构独特，而FFU（风机过滤器单元）在千级区采用HEPA过滤器，过滤效率达到99.997%，百级区则采用ULPA过滤器，过滤效率为99.9995%，确保空气洁净度。
2. 水系统
冰水系统分为一次侧和二次侧，为空调系统提供恒温冷水。一次侧冰水温度在7-12度之间，供给空调箱和风机盘管；二次侧冰水则在12-17度之间，专为风机盘管系统供水。这两个侧的水是独立回路，通过板式换热器进行连接。为了防结露，无尘室的盘管采用干盘管设计。由于无尘室的温度大约在22度，温度约为12度，因此进入无尘室的冰水温度控制在12-14度。
3. 控制系统（DDC）
控制系统主要调节温度和湿度。通过感测的信号，控制干盘管系统的水温，以维持室内的温度稳定。根据静压感测的信号，自动调节空调箱马达变频器的频率，确保室内的新风量满足需求并维持正压。
4. 其他系统
除了上述的风系统和控制系统外，无尘室还包括真空系统、压缩空气系统、纯水供应系统、废水处理系统、二氧化碳处理系统和制程排气系统等。这些系统的协同作用确保了无尘室的洁净环境。合洁科技电子净化工程的图片展示了这些系统的实际应用和效果。
