
大家都清楚,目前主流的芯片制造方法,都是基于光刻技术,而其中最为核心的部分就是光刻机。
在光刻机领域,AL公司占据了超过80%的全球市场份额,特别是在先进的EUV光刻机方面,全球仅有AL具备生产能力。这使得全球的先进芯片制造企业都受到AL的制约,尤其是在生产7nm以下的芯片时,EUV技术更是不可或缺。
长期以来,许多企业都在努力突破AL的技术垄断,尤其是试图寻找替代EUV光刻机的其他芯片制造技术。如果哪家企业能够成功研发出新的技术,那么全球芯片设备的格局可能会发生翻天覆地的变化。
事实上,除了AL的EUV光刻机技术外,世界上还有其他几种技术策略正在研究中。例如,日本研究的NIL纳米压印技术,佳能公司已经推出了相关的设备,据说该技术也可以应用于5nm芯片的生产。还有电子束技术,也是一种可应用于5nm及以下芯片制造的技术。
最近,英国南安普敦大学宣布成立了一个先进的电子束光刻中心,该中心的分辨率低于5纳米,据说能够制造下一代半导体芯片,而且无需使用EUV光刻机。这是全球第二个、欧洲第一个此类电子束光刻中心。
尽管这一技术取得了显著的进展,但当前的产品仍存在一定局限性。目前,该技术只能应用于8英寸的晶圆,若要支持12英寸的晶圆,还需要进一步的技术突破。
如果这种电子束光刻机技术能够实现重大突破,解决产能、分辨率等问题,那么AL的市场地位将受到严重威胁。现有的行业格局可能会发生巨大的变化。对于我们来说,虽然表面上看起来有更多的选择,但这些技术并非来自本土,因此即使我们拥有,也可能不会向我们出售。我们仍然需要自力更生,掌握核心技术,以避免受制于人。
